N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點，平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程0.04%的 重復定位精度。 N12壓電掃描臺典型應用 掃描顯微 • 共焦顯微 • 晶圓定位 • 表面測量 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 半導體測試 N12壓電掃描臺特性 • zui大位移110μm • zui大承載0.7kg • 臺體中心方形通孔 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選 1~3維掃描臺 N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號。 閉環(huán)傳感定位精度高 N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測 并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調整電壓修正位移，從 而實現(xiàn)高精度定位。 N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應用 于光學顯微成像，實現(xiàn)XYZ軸精密掃描。 小體積、大位移、中心通孔 N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達110μm。 *的平行運動學設計原理，使得平臺可以實現(xiàn)XYZ軸高速 精密運動。這款產品的應用非常廣泛，從光學研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。 該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優(yōu)異的直線性使其成為光學、激光領域納米級精密定位應用。 N12壓電掃描臺技術參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | N12.X100S N12.X100K | N12.Z100S N12.Z100K | N12.XY100S N12.XY100K | N12.XZ100S N12.XZ100K | N12.XYZ100S N12.XYZ100K | 單位 | 運動自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z | | 標稱行程范圍（0~120V） | 80 | 80 | 80/軸 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 110 | 110 | 110/軸 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | mm | 閉/開環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.04/- | 0.04/- | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <10 | <10 | <15 | <15 | <20 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 25/8 | 20/4 | N | 運動方向剛度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Z0.25 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 230 | 200 | X170/Y200 | X200/Z150 | X200/Y150/Z120 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 | 65 | 55 | 50 | 30 | Hz±20% | 行程 | 8 | 8 | 7 | 6 | 4 | zui大承載 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | 材質 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 240 | 240 | 290 | 290 | 350 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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