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光路調(diào)整中,可以利用哪些壓電微納米運動產(chǎn)品工具?

更新時間: 2022-11-24

光是一種電磁波,電磁波具有幅度、頻率、相位等特點,通過調(diào)節(jié)電磁波的這三種特性,可以表達不同的狀態(tài),通常稱為調(diào)幅、調(diào)頻、調(diào)相。

光學科學與許多學科相關,包括天文學、各種工程領域、攝影和醫(yī)學(尤其是眼科和驗光儀,稱為生理光學)。在各種技術和日常物體中也都可以找到光學的實際應用,包括鏡片、鏡頭、望遠鏡、顯微鏡、激光器和光纖等。

在各種光學的應用中,想利用光達到應用的目的,就需要對光進行控制,包括方向、相位等。而這些調(diào)整控制,都需要相應的調(diào)整工具。并且,因光的波長一般在微米、納米間,因此對光的參數(shù)調(diào)整,通常要求非常高的精度。

芯明天專注于壓電納米運動與控制系統(tǒng),專為高精度的運動控制提供解決方案。在光路調(diào)整中,可以選擇芯明天的哪些壓電微納米運動產(chǎn)品?



光路的方向控制(光路偏轉(zhuǎn))


光路的方向是指光傳輸?shù)姆较?,光路的方向控制是指改變光的傳輸方向?/span>可以選擇以下幾種產(chǎn)品對光路的方向進行調(diào)節(jié)。





壓電偏轉(zhuǎn)鏡應用于快速光路偏轉(zhuǎn)


芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)部采用差分控制方式,驅(qū)動內(nèi)部壓電陶瓷以推拉形式運動,使得壓電偏轉(zhuǎn)鏡的移動平面產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)運動。它的特點是偏轉(zhuǎn)速率快、偏轉(zhuǎn)分辨率高,分別可達毫秒量級、納弧度量級。


圖片


芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡可產(chǎn)生θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)運動,也可選配Z向直線運動。運動效果如下所示。

壓電偏轉(zhuǎn)鏡的特點使其非常適用于光路的方向控制,且它的反應迅速,使得它的應用范圍非常廣泛,從科研到工業(yè),再到宇航,都有壓電偏轉(zhuǎn)鏡的身影。例如,在科研的激光光路穩(wěn)定實驗中光路的控制,工業(yè)應用里激光加工中光路的控制,宇航中的激光通信、圖像穩(wěn)定的光路控制等。


圖片



型號舉例

型號
類型
偏轉(zhuǎn)范圍
分辨率
P32
三維運動
0~15mrad
0~55μm
0.05~0.4μrad
0.5~2nm
P33
多功能型
0~10mrad
0.02~0.3μrad
P34
大負載型
0~5.6mrad
0.1~0.2μrad
P35
大角度型
0~43mrad
0.3~1.2μrad
P35A
大角度型
0~43mrad
0.4~1.2μrad
S22
θx偏轉(zhuǎn)
0~3mrad
0.03~0.08μrad
S23
中空型
三維運動
0~1.5mrad
0~10μm
0.02μrad
0.08nm
S30
高動態(tài)
0~3mrad
0.02~0.1μrad
S34
大負載
0~2.5mrad
0.02~0.07μrad
S37
抗振型
0~13.5mrad
0.03~0.35μrad
S38
小體積
0~2.4mrad
0.01~0.07μrad
XD304
高動態(tài)
0~2.4mrad
0.01~0.07μrad

芯明天已為多顆衛(wèi)星提供壓電偏轉(zhuǎn)鏡及低功耗、小體積板卡式控制系統(tǒng),其中有搭載激光通信系統(tǒng)的低軌衛(wèi)星、搭載激光通信系統(tǒng)的高軌衛(wèi)星、搭載成像儀的低軌衛(wèi)星、搭載磁象儀的低軌衛(wèi)星、搭載導航系統(tǒng)的高軌衛(wèi)星以及其他商業(yè)衛(wèi)星等。芯明天已形成涵蓋工業(yè)級、*品級、宇航級多個系列的高可靠性壓電偏轉(zhuǎn)鏡與驅(qū)動控制產(chǎn)品。





壓電偏擺臺應用于光路偏轉(zhuǎn)


壓電偏擺臺的原理與壓電偏轉(zhuǎn)鏡的原理基本相同,但兩者間的外觀不太相同。壓電偏擺臺是專為面積較大的反射或透射鏡片而設計。它具有中心通孔,且孔徑較大,可達96mm×96mm,可帶載的鏡片尺寸達110mm×110mm。


圖片



壓電偏擺臺的運動軸為θx、θy,偏轉(zhuǎn)行程一般約為2mrad。壓電偏擺臺也可選擇Z向運動。它的運動效果如下所示。


圖片



壓電偏擺臺非常適用于遠距離激光合束對準應用,可將對準分辨率保持在0.01秒。



圖片
壓電偏擺臺的出廠前測試


型號舉例

型號
運動軸
行程范圍
承載
能力
分辨率
S51.ZT1
θxθy
Z
0~2.2mrad
0~100μm
1
kg
0.05~0.25μrad
4~7nm
S51.ZT1-C1
θxθy
Z
0~2.2mrad
0~110μm
2.5
kg
0.05~0.25μrad
4~7nm
S51.ZT2-C1
θxθy
Z
0~4mrad
0~240μm
1.5
kg
0.06~0.15μrad
2~7nm
S54
θxθy
0~2mrad
1
kg
0.05~0.25μrad





二維偏轉(zhuǎn)壓電鏡架應用于自動光路偏轉(zhuǎn)


二維偏轉(zhuǎn)壓電鏡架的偏轉(zhuǎn)動作是基于兩支壓電螺釘來驅(qū)動完成,兩軸間采用共軸心點,每支壓電螺釘?shù)闹本€運動控制了相應軸的偏轉(zhuǎn)角度及方向。


圖片



二維偏轉(zhuǎn)壓電鏡架與壓電偏轉(zhuǎn)鏡相比,它具有更大的偏轉(zhuǎn)范圍,但它的偏轉(zhuǎn)速度相對壓電偏轉(zhuǎn)鏡要慢的多。

運動效果如下圖所示。

型號舉例

型號
偏轉(zhuǎn)
范圍
卡裝鏡片直徑
分辨率
T25N81K8
±5°
25.4mm
0.7μrad
T25N81K8-C
±2°
12.5mm
0.7μrad
T50N81K13
±5°
50.8mm
0.7μrad
T100N81K13
±3.5°
101.6mm
0.7μrad





壓電宏微復合式移相器用于光路調(diào)節(jié)


壓電宏微復合式移相器是手動偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)與直線壓電促動相結(jié)合,手調(diào)偏轉(zhuǎn)部分具有多種調(diào)節(jié)架可選。直線壓電促動器部分也具有多種選擇,可選大位移或小位移型。直線壓電促動器部分,大位移版本可達百微米范圍以上,小位移版本位移約1μm左右。


圖片



該壓電移相器是專為光學相移應用而設計,它的直線促動是通過電壓控制,可進行超快速(µs級)步進調(diào)節(jié),同時,可通過手動調(diào)節(jié)θx、θy 兩軸的偏轉(zhuǎn)角度,角度調(diào)節(jié)范圍可達±4°。將鏡片調(diào)節(jié)與相移步進相結(jié)合,使其更方便于像移、干涉測量等光路調(diào)節(jié)應用。

它的運動效果如下所示。

型號舉例

型號

手調(diào)偏轉(zhuǎn)范圍

壓電直線范圍

壓電驅(qū)動電壓

ZT50M14S7(帶傳感器)

±3°

9μm

0~150V

ZT50M14K7

±3°

9μm

0~150V

ZT50M14S120
(帶傳感器)

±3°

114μm

0~150V

ZT35H80K

±4°

3.73μm
(0.7μm@150V)

0~800V



光路的直線調(diào)節(jié)


光路的直線調(diào)節(jié)是指不改變光的方向,只對光的直線傳輸?shù)穆窂竭M行調(diào)節(jié),可以改變光的相位、頻率等。





PZT壓電陶瓷片/疊堆應用于光路的直線調(diào)節(jié)


壓電陶瓷片/疊堆是相對較小的移相器,最小的尺寸可達1.22×1.3×1.7mm^3。在使用中,需將反射鏡片或透射鏡片直接粘貼于壓電陶瓷片/疊堆上。


圖片



PZT壓電元件在電壓驅(qū)動下,產(chǎn)生直線運動位移,從而帶動反射鏡片/透射鏡片進行直線前進或后退,從而引起光路徑長度的變化。


參數(shù)舉例

圖片



注:芯明天具有上千種壓電陶瓷型號,詳細參數(shù)請見芯明天產(chǎn)品樣冊或。

PZT壓電陶瓷產(chǎn)生的位移量與施加的電壓成基本的線性關系。例如,一款陶瓷在150V驅(qū)動下可達的位移為9μm,則在施加15V驅(qū)動電壓時,它產(chǎn)生的位移約0.9μm。

PZT壓電陶瓷片/疊堆的體積小、精度高,非常適用于受限空間中的光路調(diào)整。但壓電陶瓷一經(jīng)粘貼鏡片后,不可進行拆卸,因為拆卸的過程會造成壓電陶瓷的損壞。





封裝式壓電陶瓷促動器應用于光路直線調(diào)整


封裝式壓電陶瓷促動器是將PZT壓電陶瓷元件封裝于內(nèi)部,并預加有預載力。封裝壓電促動器的結(jié)構(gòu)不僅對壓電陶瓷進行非常好的保護,同時它可以工作在更高的頻率下,可動態(tài)使用。


圖片



封裝式壓電促動器的鏡片安裝接口也更靈活,鏡片可粘貼于鏡片座上,鏡片座通過螺紋安裝于壓電促動器的移動端,易于鏡片更換。


型號舉例

型號
直線行程
空載諧振頻率
外徑
PSt150/4/7 VS9
9μm
40kHz
9mm
PSt150/5/7 VS10
9μm
40kHz
10mm
PSt150/7/40 VS12
38μm
20kHz
12mm
PSt150/10/100 VS15
95μm
10kHz
15mm
ZT50M14K60
57μm
15kHz
14mm

注:更多型號請詳見芯明天產(chǎn)品手冊或。

封裝式壓電陶瓷促動器也具有環(huán)形中孔版本,中心具有通孔,且配備有鏡片安裝帽,鏡片安裝、更換更便捷。中心通孔尺寸由直徑4.5mm至24mm不等。


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機構(gòu)放大促動器應用于直線光路調(diào)整


機構(gòu)放大促動器是將PZT壓電陶瓷元件的位移進行放大并輸出的促動器,它適用于光學調(diào)整中要求大位移的應用。并且,該種壓電促動器可選配閉環(huán)反饋傳感器,可對壓電促動器的位移進行線性控制。


圖片



型號舉例

型號
P87.X38S
單位
行程范圍
38
μm
驅(qū)動電壓
150
V
傳感器
SGS

空載固有頻率
1200
Hz





壓電光纖相位調(diào)制器應用于光路調(diào)整


芯明天壓電光纖相位調(diào)制器是一種光纖拉伸裝置,可對纏繞于其外徑凹槽內(nèi)的光纖進行拉伸,拉伸的長度、頻率可調(diào)。

在使用芯明天光纖相位調(diào)制器時,需注意光纖纏繞的圈數(shù),要保證壓電光纖相位調(diào)制器的出力滿足光纖拉伸的出力要求。


圖片



型號舉例

型號
H01.6
單位
徑向標稱行程@120V
5.6
μm
每圈光纖拉伸長度@120V
28
μm
徑向標稱行程@150V
7
μm
每圈光纖拉伸長度@150V
35
μm
徑向最大推力
250
N
空載諧振頻率
9500
Hz
外形尺寸
OD 55,H 8
mm





壓電宏微復合平臺應用于光路調(diào)整


當利用光纖對光進行傳輸時,兩束光的對準、耦合就會要求非常高的對準精度。芯明天壓電宏微復合平臺可選1至3維運動,是千分尺粗調(diào)與壓電精調(diào)的結(jié)合。


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型號舉例

型號
X65P83S/K
XYZ65P84S/K250
運動軸
X
X Y Z
粗調(diào)行程
13mm
13mm
精調(diào)行程
25μm
250μm
分辨率
0.5nm
2nm
承載能力
1.5kg
0.2kg





壓電移相器應用于光路調(diào)整


芯明天具有幾十種壓電移相器,中心孔徑由φ36mm至φ310mm不等,承載能力可高達25kg,可正立、倒置、側(cè)臥等使用,是專門針對各類光學鏡片檢測儀器設計、生產(chǎn),如激光干涉儀。


圖片



芯明天壓電移相器產(chǎn)生一維直線運動,行程在12μm以上,采用直驅(qū)式驅(qū)動,因此承載能力強,步進分辨率高。


型號舉例

型號
中心孔徑
分辨率
承載能力
P77.S/K36
φ36mm
0.2nm
正立:7kg
臥式:1kg
倒置:5kg
P77.S/K106
φ106mm
0.2nm
正立:15kg
臥式:5kg
倒置:10kg
P77.S/K154
φ155mm
0.2nm
正立:25kg
臥式:20kg
倒置:25kg
P77.S/K310
φ310mm
0.2nm
正立:12kg
臥式:12kg
倒置:12kg
P77A.100S/K75
φ75mm
1nm
倒置:3kg





壓電物鏡定位器應用于光學聚焦


芯明天壓電物鏡定位器是專門為光的聚焦而設計的Z向運動壓電微運動臺,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設計,具有超高聚焦穩(wěn)定性。光路通過物鏡頭進行聚焦,焦點的位置是通過壓電物鏡定位器進行調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)的精度可達納米量級。

壓電物鏡定位器一般裝入顯微檢測/測量或觀測裝置,帶載物鏡頭進行精密定位調(diào)整,可與多種高分辨率顯微鏡配合使用。


圖片



芯明天壓電物鏡定位器的運動效果如下圖所示。


圖片



型號舉例

型號
Z向行程
分辨率
承載能力
P72.Z100
100μm
1nm
0.2kg
P73.Z200
200μm
2nm
0.2kg
P73.Z500
500μm
4nm
0.4kg
P73.Z1000
1000μm
8nm
0.2kg
P76.Z50
75μm
1nm
0.5kg
P76.Z50A
50μm
0.5nm
0.5kg
P76.Z100
100μm
1nm
0.5kg
P76.Z200
200μm
2nm
0.5kg
XD730.400
400μm
4nm
0.5kg
XD730.500
500μm
5nm
0.5kg
XP-721
100μm
1nm
0.2kg

...



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結(jié)語

圖片


以上展示了芯明天部分應用于光路調(diào)整的壓電微運動產(chǎn)品,更多光路調(diào)整應用產(chǎn)品,將持續(xù)更新。

若您對壓電納米運動與控制產(chǎn)品的選擇有疑問,歡迎您聯(lián)系芯明天,我們的工程師將為您推薦適用于您應用的壓電微運動產(chǎn)品。

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