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隨著壓電應(yīng)用技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，研究人員已經(jīng)不再滿足于微小位移、高精度的場景需求，帶有高精度的更大的位移行程需求不斷提出。此類壓電產(chǎn)品也隨著壓電技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步應(yīng)運(yùn)而生。芯明天XYZ72SN81K13系列壓電宏微復(fù)合運(yùn)動平臺，采用壓電粘滑原理與壓電微動技術(shù)相結(jié)合的方式，滿足XY軸mm級大行程，并且實(shí)現(xiàn)Z軸nm級的高精度。

特點(diǎn)

XY宏動毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調(diào)整

Z向微動微米行程，適于光學(xué)聚焦調(diào)整

Φ35mm中心通孔，適于透射光應(yīng)用

電壓驅(qū)動控制，速度快，操作便捷

宏微復(fù)合

XYZ72SN81K13系列運(yùn)動平臺，采用宏微復(fù)合的方式，將壓電粘滑原理與壓電微動技術(shù)結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)XY軸的大行程宏動，行程可達(dá)±5mm/軸；Z軸進(jìn)行微動調(diào)節(jié)，行程可達(dá)8μm。

• XY毫米行程運(yùn)動，壓電螺釘驅(qū)動

XY軸采用芯明天設(shè)計生產(chǎn)的壓電螺釘來驅(qū)動，它利用粘滑原理，具有行程大、精度高等特點(diǎn)。再結(jié)合中空式滑動平臺，將壓電螺釘?shù)闹本€運(yùn)動轉(zhuǎn)換至滑動平臺的XY軸運(yùn)動。

• Z向微米行程運(yùn)動，壓電直驅(qū)結(jié)構(gòu)

Z軸采用PZT壓電直驅(qū)結(jié)構(gòu)，提供微米級行程、納米級精度。驅(qū)動電壓與運(yùn)動行程成線性關(guān)系。

配備籠式結(jié)構(gòu)安裝孔位

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復(fù)合運(yùn)動平臺是專為籠式結(jié)構(gòu)中的應(yīng)用而設(shè)計，結(jié)構(gòu)中配備了籠式結(jié)構(gòu)安裝通孔，可直接集成到籠式結(jié)構(gòu)中。它可用于帶載任何光學(xué)元件，例如在籠式結(jié)構(gòu)中帶載透鏡，XY向的運(yùn)動調(diào)整可精確控制透鏡焦點(diǎn)在平面內(nèi)的中心位置，而Z向的微運(yùn)動可對焦點(diǎn)在光軸上的位置進(jìn)行精確的納米級微調(diào)整。

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復(fù)合運(yùn)動平臺采用φ35mm的通光孔徑結(jié)構(gòu)，適合于光學(xué)應(yīng)用。

Z向微動位移與電壓曲線

不同于XY向的驅(qū)動原理，Z向驅(qū)動時，產(chǎn)生的位移與驅(qū)動電壓成線性關(guān)系。

技術(shù)參數(shù)

型號：XYZ72SN81K13

運(yùn)動自由度：XYZ

XY宏動行程：±5mm/軸

Z向微調(diào)行程：8μm@150V

XY最小位移增量：<30nm

Z向閉/開環(huán)分辨率：0.3/0.1nm

Z向微調(diào)傳感器：SGS

Z向空載諧振頻率：2.5kHz

承載能力：正立500g/側(cè)放200g