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P12B.XYZ100壓電掃描臺(tái)為3維并聯(lián)式平移掃描臺(tái)，臺(tái)體中心通孔，內(nèi)部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有高導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無(wú)磨損等特點(diǎn)。

平臺(tái)內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)0.05%F.S.重復(fù)定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺(tái)掃描范圍可達(dá)100μm/軸，閉環(huán)掃描精度高，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)無(wú)偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測(cè)量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域，同時(shí)適用于真空應(yīng)用，滿(mǎn)足客戶(hù)真空應(yīng)用需求。

特點(diǎn)

· 三維XYZ向運(yùn)動(dòng)                     

· 行程100μm/軸                     

· 中心通孔Ø10mm                     

· 適用于真空應(yīng)用                     

應(yīng)用領(lǐng)域

· 掃描顯微/表面測(cè)量                    

· 共焦顯微/半導(dǎo)體測(cè)試                  

· 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定

· 光纖定位/光學(xué)掃描

電壓位移曲線(xiàn)

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P12B.XYZ100

運(yùn)動(dòng)自由度：XYZ

行程范圍（0~150V）：100μm/軸

傳感器類(lèi)型：SGS

中心通孔：Ø10mm

外徑：Ø49mm

靜電容量：3.6μF/軸

承載能力：0.2kg

工作溫度范圍：-20~80℃

材質(zhì)：鋼、鋁

外形尺寸（高）：38.5mm

出線(xiàn)長(zhǎng)：1.5m

傳感/電壓連接器：LEMO