微納操作系統(tǒng)中的微動壓電鉗
作為微納操作系統(tǒng)中的一個末端執(zhí)行機構,微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機構,將電壓轉化為鉗口的位移輸出,通過鉗口閉合實現(xiàn)微操作對象的夾持,張開實現(xiàn)微操作對象的釋放。
芯明天研發(fā)生產(chǎn)的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅動,采用柔性鉸鏈機械放大結構,具有分辨率高、響應速度快、無摩擦等特點。夾持位移可達100微米,是微納操作系統(tǒng)中*的執(zhí)行器件。
特點
• 夾持位移達100μm
• 亞毫秒級響應時間
• 諧振頻率達1.5kHz
技術參數(shù)
型號:XD002-D2
運動自由度:X
行程范圍(0~120V):80μm
行程范圍(0~150V):100μm
推/拉力:10/1N
運動方向剛度:0.04N/μm
空載諧振頻率:1500Hz
空載階躍時間:0.7ms
空載滿行程工作頻率:300Hz
大承載:0.05kg
靜電容量:0.18μF
材質(zhì):不銹鋼
重量:10g
驅動控制
E53.A壓電控制器非常適合驅動XD-002系列微動壓電鉗,即可保證快速的響應時間,又可保證壓電鉗的工作穩(wěn)定性。同時E53系列壓電控制器的外形非常緊湊,體積小巧,易于集成。
定制版壓電鉗
夾持行程:500μm@150V
靜電容量:1.6μF
空載諧振頻率:180Hz
材質(zhì):鈦合金
夾持行程:1000μm@150V
靜電容量:3.4μF
空載諧振頻率:110Hz
材質(zhì):鈦合金
夾持行程:1000μm@150V
靜電容量:3.6μF
空載諧振頻率:90Hz
重復定位精度:0.5%F.S.
位移傳感器:有
材質(zhì):鈦合金
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