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XD302系列超小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡!

更新時間: 2020-06-20

XD302系列為開環(huán)式二維θX、θY運動的壓電偏轉(zhuǎn)鏡,是專為高動態(tài)應(yīng)用而設(shè)計,空載諧振頻率高達(dá)15kHz,且體積小巧,適于空間受限的應(yīng)用。

特點

二維偏轉(zhuǎn)運動

體積緊湊

開環(huán),高分辨率

適于高動態(tài)應(yīng)用

 

應(yīng)用

XD302系列小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡適于激光加工快速掃描、激光光路穩(wěn)定等各種光路調(diào)節(jié)等。

 

兩種型號

 

XD302系列二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡,具有XD302-D1XD302-D2兩種型號,兩種型號的位移分別為3mrad、1.5mrad,兩個版本的空載諧振頻率都高達(dá)15kHz。并且,它們的體積非常緊湊,外徑僅15.6mm,高分別為30mm、21mm。

 

XD302-D1壓電偏轉(zhuǎn)鏡

XD302-D1技術(shù)參數(shù)

型號:XD302-D1

運動方向:θx、θy

標(biāo)稱行程范圍(0~120V):3或±1.5mrad

開環(huán)分辨率:0.03μrad

空載諧振頻率:15 kHz

帶載諧振頻率(φ12.5×3mm鏡片):10 kHz

靜電容量:1.6μF/

材料:鈦合金、鋼

質(zhì)量:30g

驅(qū)動控制:三路驅(qū)動(含1路恒壓)

外徑/高:15.6/30mm

 

XD302-D2壓電偏轉(zhuǎn)鏡

XD302-D2技術(shù)參數(shù)

型號:XD302-D2

標(biāo)稱行程范圍(0~120V):1.5或±0.75mrad

開環(huán)分辨率:0.02μrad

空載諧振頻率:15 kHz

帶載諧振頻率(φ12.5×3mm鏡片)10 kHz

靜電容量:0.7μF/

材料:鈦合金、鋼

質(zhì)量:20g

驅(qū)動控制:三路驅(qū)動(含1路恒壓)

外徑/高:15.6/21mm

 

偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動電壓曲線

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