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作為一種高精密光學(xué)儀器，邁克爾遜干涉儀得到了非常廣闊的應(yīng)用，它既可用于測(cè)量光的波長(zhǎng)，還可用于測(cè)量氣體或液體的折射率、玻璃的厚度、劈尖的傾斜角度以及測(cè)量距離等。

邁克爾遜干涉儀的原理是將一束入射光經(jīng)過(guò)分光鏡分為兩束后，各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來(lái)，因這兩束光的頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定（即滿足干涉條件），所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過(guò)調(diào)節(jié)干涉臂長(zhǎng)度以及改變介質(zhì)的折射率來(lái)實(shí)現(xiàn)，從而能夠形成不同的干涉圖樣。通過(guò)調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。該原理可用于研制多種測(cè)量?jī)x器。

下圖為一款搭建好的邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)，該系統(tǒng)中采用了芯明天P63.Z壓電納米定位臺(tái)作為移相器，移相行程為 0~6.8μm，移相的分辨率可達(dá)0.1nm，滿行程6.8μm運(yùn)動(dòng)范圍的響應(yīng)速度為0.3ms，納米級(jí)步進(jìn)掃描的速度將更快。

P63.Z壓電納米定位臺(tái)通常的使用方式為移動(dòng)面朝上放置，延縱向產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)位移，運(yùn)動(dòng)如下圖中所示。但在該系統(tǒng)中，采用的是橫向放置方式，延水平方向產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)位移。

當(dāng)Z向壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平使用時(shí)，它的受力情況會(huì)發(fā)生變化，在您訂購(gòu)時(shí)，請(qǐng)務(wù)必告知，我們會(huì)根據(jù)使用情景對(duì)內(nèi)部做相應(yīng)調(diào)整，以更好適應(yīng)使用環(huán)境，提高可靠性。

P66.Z納米定位臺(tái)的運(yùn)動(dòng)示意圖

（注：為便于觀看，運(yùn)動(dòng)范圍已被放大）

P63.Z壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P63.Z7S

運(yùn)動(dòng)自由度：Z

標(biāo)稱行程（0~120V）：5.5μm

行程范圍（0~150V）：6.8μm

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：0.2/0.1nm

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.2%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：<5μrad

推/拉力：10/2N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：1.5N/μm

空載諧振頻率：2kHz

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間：1.5/0.3ms

滿行程閉環(huán)空載工作頻率：達(dá)200Hz

承載：0.8kg

靜電容量：0.8μF

材質(zhì)：鋁

重量：70g