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    XP-63系列壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

XP-63系列壓電納米定位臺典型應(yīng)用

• 干涉    • 生物技術(shù)
• 納米定位    • 微加工/精密控制

 應(yīng)用實例

  采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實驗。

XP-63系列壓電納米定位臺特點：

• 1~3維自由組合

• zui大行程68μm

• zui大承載5kg

• 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.

• 亞毫秒響應(yīng)時間

1-3維平移臺

    XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式 組成XY，XZ，XYZ多種運動結(jié)構(gòu)。多種規(guī)格型號可選。柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。 

體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺結(jié)構(gòu)設(shè)計，具 有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特 點。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時間可 以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負(fù)載，響應(yīng)時 間僅為5ms。
XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅 為60×45×18mm，易于與其他平臺設(shè)備集成。
閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實時檢測位置信號 并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到 的位置信號進(jìn)行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

XP-63系列壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。