P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn)Z軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級，是光學(xué)移相器。 P77.Z一維Z軸壓電掃描臺，zui大承載可達(dá)5kg，閉環(huán)掃描臺精度更高，直線運動無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域。 特性 • 一維Z向運動，zui大行程20μm • zui大承載5kg • 通孔直徑：Ø106mm • 亞納米級分辨率 • 響應(yīng)速度快 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 臺體采用直驅(qū)式機構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快 | 
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大孔徑、大承載、高諧振頻率 | 頻率負(fù)載曲線 | 應(yīng)用案例-大孔徑干涉儀 | P77系列壓電掃描臺采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，利用有限元分析優(yōu)化，剛度可達(dá)8N/μm，空載諧振頻率300Hz。 閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對位移實時監(jiān)測反饋，可實現(xiàn)納米級的重復(fù)定位精度及線性度。 壓電掃描臺中心106mm的大通光孔，是光學(xué)移相器，該產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于激光平面干涉儀等設(shè)備。 | 
| 芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。 
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應(yīng)用 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 移相器 • 精密定位 •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導(dǎo)體測試 • 表面檢測 • 光學(xué)計量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) |
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