P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺可以實(shí)現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。 
P12.XYZ三維XYZ軸壓電掃描臺，結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸60×60×24mm，zui大行程可達(dá)110μm。壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)納米級的分辨率，毫秒級的響應(yīng)時間，臺體中心中孔尺寸達(dá)Φ25mm，非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。 特性 • 三維XYZ向運(yùn)動，zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.6kg • 通孔尺寸：Ø25mm(Ø35mm可選 ) • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 應(yīng)用： 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統(tǒng)•顯微光學(xué)成像 
哈爾濱芯明天科技有限公司致力于壓電納米定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，主要服務(wù)于制造精密設(shè)備的的客戶。經(jīng)過二十多年的快速發(fā)展，公司已獲得*認(rèn)定，獲得產(chǎn)品30多項(xiàng)并取得軟件著作權(quán)、全部產(chǎn)品擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、公司產(chǎn)品已覆蓋全國各地高校、科研院所以及精密設(shè)備制造企業(yè)，并遠(yuǎn)銷歐、美、日、韓等地。公司與中國高科技企業(yè)、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建立了合作伙伴關(guān)系，已經(jīng)成為中國專業(yè)的精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)商。 
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