P83系列壓電驅動測微頭是將標準的測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合,通過手動調節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm,再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節(jié),壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可<1nm,這個壓電驅動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。 P84系列壓電驅動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結構相結合,通過手動調節(jié)測微頭實現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅動測微頭的精調節(jié),壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達2.5nm,測微頭的分辨率是10μm,整體結構可以對元件進行大行程、高精度定位。 |