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產(chǎn)品名稱:P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

產(chǎn)品型號:P22

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計,外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動,補償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2021-03-23

P22P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad的詳細資料:

P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

 

P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

  特性  

• θx一維偏轉(zhuǎn),zui大偏轉(zhuǎn)角度4mrad                 • 閉環(huán)定位精度高               • 分辨率高                 

• 外形超薄                                                   • 亞毫秒響應(yīng)時間

 

  運動方式  

   頻率負載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。

 

維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

  小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選  

結(jié)構(gòu)原理  

 

壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(快反鏡/傾斜鏡,光束偏轉(zhuǎn),相移器)提供比音圈電機類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬,θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 4mrad,偏轉(zhuǎn)分辨率達0.1μrad,開環(huán)閉環(huán)可選,閉環(huán)傳感器包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器,可獲得更高的定位精度。

超小體積設(shè)計,具有非??斓捻憫?yīng)速度,可帶載Ø15mm的鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。

平臺由一個鉸鏈支撐,并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點,兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設(shè)計的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高等。

如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大,推薦使用差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

 

  應(yīng)用  

  產(chǎn)品測試  

 

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學(xué)、激光掃描、通信  • 光過濾/轉(zhuǎn)換  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡

 

 

 

 

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