隨著微納技術的飛速發(fā)展，對精密定位系統(tǒng)的需求日益增長。哈爾濱芯明天科技有限公司，作為納米定位與測控技術的優(yōu)秀工具，近期推出的P76F系列方邊固定大承載壓電物鏡定位器，以其優(yōu)秀的性能和靈活的適配性，促進了行業(yè)技術潮流。本文將詳細介紹P76F系列壓電物鏡定位器的技術特點、應用場景以及配套控制器，展現(xiàn)其在精密測量與定位領域的優(yōu)秀表現(xiàn)。
一、產(chǎn)品概述
P76F系列壓電物鏡定位器是芯明天科技專為高負載應用設計的壓電納米運動平臺。該系列定位器采用了先進的柔性鉸鏈設計，實現(xiàn)了無摩擦、直線性好的運動特性，同時確保了高定位精度。其**的頂部方邊固定設計，不僅提升了安裝的便捷性，還增強了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。P76F系列以其高達90μm的位移能力和900g的負載能力，成為晶圓激光隱形切割、半導體檢測設備等大負載應用場景的理想選擇。
二、技術特點
1. 高精度定位：P76F系列提供閉環(huán)控制選項，閉環(huán)分辨率可達1nm，線性度優(yōu)于0.2%F.S.，重復定位精度達到0.03%F.S.，滿足了高精度測量的嚴苛要求。
2. 大負載能力：最大承載可達0.9kg，遠超同類產(chǎn)品，適用于多種重載工況下的精確定位。
3. 靈活適配性：物鏡鏡頭連接器支持多種螺紋牙適配，可根據(jù)客戶需求進行定制，提高了設備的通用性和靈活性。
4. 快速響應：毫秒級響應時間，空載諧振頻率高達750Hz，帶載諧振頻率在900g時仍能達到280Hz，確保了動態(tài)操作的快速性和穩(wěn)定性。
5. 耐用可靠：采用高品質(zhì)材料(鋼、鋁)制造，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕(僅1740g)，適用于長時間連續(xù)工作。
三、應用場景
P76F系列壓電物鏡定位器憑借其優(yōu)秀的性能，廣泛應用于多個高科技領域：
1. 三維成像與干涉計量：在顯微鏡系統(tǒng)中，P76F系列可實現(xiàn)高精度的自動聚焦，提升成像質(zhì)量。
2. 晶圓切割：在半導體制造過程中，P76F系列的大負載能力和高精度保證了晶圓切割的準確性和效率。
3. 半導體測試：在芯片測試階段，P76F系列能夠精確定位，滿足復雜測試任務的需求。
四、配套控制器
為充分發(fā)揮P76F系列壓電物鏡定位器的性能，芯明天科技推出了E53系列壓電控制器。該系列控制器專為小體積應用設計，體積小巧，功能強大，支持模擬與數(shù)字控制，開閉環(huán)可選。其散熱區(qū)域設計確保了長時間工作的穩(wěn)定性，且上位機軟件支持二次開發(fā)，便于用戶集成與定制。
結(jié)語
P76F系列方邊固定大承載壓電物鏡定位器，是芯明天科技在納米定位與測控技術領域的一次重要創(chuàng)新。其優(yōu)秀的性能、靈活的適配性和廣泛的應用前景，必將為微納技術的發(fā)展注入新的動力。隨著技術的不斷進步和市場的不斷拓展，P76F系列定位器必將成為精密定位領域的明星產(chǎn)品，助力各行各業(yè)實現(xiàn)更高水平的科技進步。
